目前X射線 (X光) 螢光光譜儀 (XRF) 常用的X射線管的靶材有銠 (Rh)、銀 (Ag)、鉻 (Cr)、鉬 (Mo)、鎢 (W) 等。
而靶材的選用,跟要分析的材料有關。目前以銠為靶材電極的XRF,是最普遍的款式,因為銠靶X射線管所發射的X射線及連續X射線,適合激發原子序11(鈉)到原子序30(鋅)元素的螢光。另外,鎢靶也是比較常見的XRF。
但兩種不同靶材的XRF,各有其限制,需要根據使用者的用途來選擇: