目前X射线 (X光) 萤光光谱仪 (XRF) 常用的X射线管的靶材有铑 (Rh)丶银 (Ag)丶铬 (Cr)丶钼 (Mo)丶钨 (W) 等。
而靶材的选用,跟要分析的材料有关。目前以铑为靶材电极的XRF,是最普遍的款式,因为铑靶X射线管所发射的X射线及连续X射线,适合激发原子序11(钠)到原子序30(锌)元素的萤光。另外,钨靶也是比较常见的XRF。
但两种不同靶材的XRF,各有其限制,需要根据使用者的用途来选择: