拉曼光譜儀用在半導體的應用有哪些？

發佈：2018-05-31, 週四

在半導體產業，拉曼光譜儀能夠協助業者研究半導體材料的基本特性。包含單一元素的半導體，如矽(Si)、鍺(Ge)，以及多成份組成的半導體，如鎵砷(GaAs)半導體。在材料製造階段，這些半導體材料的特性，將決定接下來晶圓製造、IC封裝這些製程的品質，本階段是最為重要的步驟。

由於這些材料（包含石墨烯）根據其不同的組成與結構，具有不同的拉曼光譜帶。半導體材料的組成，可以透過拉曼光譜儀的進行定量分析，以測量半導體中鍺元素的濃度。同時也可以利用拉曼光譜儀，測量結晶度，以及材料的應變與應力。

在晶圓製造的過程中，使用拉曼光譜儀作為製程分析與品質控管的工具，將有利於提高產品的品質，提高良率進而提高整體產量。

目前拉曼光譜儀在半導體產業常見的應用包括：