X射線螢光光譜儀 (XRF) 的組成?

發佈:2014-10-01, 週三

目前市面上看到的X射線螢光光譜儀 (XRF,桌上型或手持設備),大多包含四種主要的元件:

X光發射管

以高電壓加速電子撞擊陽極靶材,如銠 (Rh)、銀 (Ag)、鉻 (Cr)、鉬 (Mo)、鎢 (W) 等,以產生電子激發,發射出X射線 (X光)。

樣品負載裝置

手持式的XRF多半採用直接直接檢測的方法,頂多在發射源的四周,設計光遮罩防止干擾。而桌上型的設備,使用者在樣品採集後,將樣品放置在樣品載台上,以XRF來分析。

 

X光偵測器 (Detector)

包括固態式偵測器或氣體填充式比例計數偵測器等。固態式偵測器內含碘化汞(HgI2)、矽汞和鋰矽Si(Li),碘化汞(HgI2)偵測器可使用低功率熱電式冷卻裝置來控制操作溫度,使其低於室溫以下,矽汞偵測器也可經由熱電式帕爾帖效應來冷卻之,而鋰矽偵測器則必需被冷卻至最少 -90 ℃,其冷卻方式可使用液態氮或經由熱電式帕爾帖效應來冷卻之。

數據處理系統

包括測量脈衝振幅之多頻道分析儀(MCA),可將訊號處理成X光能量光譜,然後再計算出樣品中元素濃度的分析儀,及分析數據顯示和儲存系統。