X射線螢光繞射儀 (XRF/XRD)

X射線 (X光) 光譜法，是利用帶測物被高能量光束激發後，所發出的X射線輻射，來進行測量與光譜分析，並得知待測物的物質組成。目前X射線光譜法主要的技術有：能量色散X射線光譜 (EDS, Energy-dispersive X-ray spectroscopy) ，波長色散X射線光譜 (WDS, Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy)。