拉曼光谱仪用在半导体的应用有哪些？

发布于 2018-05-31 01:32

在半导体产业，拉曼光谱仪能够协助业者研究半导体材料的基本特性。包含单一元素的半导体，如矽(Si)、锗(Ge)，以及多成份组成的半导体，如镓砷(GaAs)半导体。在材料制造阶段，这些半导体材料的特性，将决定接下来晶圆制造、IC封装这些制程的品质，本阶段是最为重要的步骤。

由于这些材料（包含石墨烯）根据其不同的组成与结构，具有不同的拉曼光谱带。半导体材料的组成，可以透过拉曼光谱仪的进行定量分析，以测量半导体中锗元素的浓度。同时也可以利用拉曼光谱仪，测量结晶度，以及材料的应变与应力。

在晶圆制造的过程中，使用拉曼光谱仪作为制程分析与品质控管的工具，将有利于提高产品的品质，提高良率进而提高整体产量。

目前拉曼光谱仪在半导体产业常见的应用包括：