X射线萤光光谱仪 (XRF) 的组成？

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发布于 2014-10-01 15:38

目前市面上看到的X射线萤光光谱仪 (XRF，桌上型或手持设备)，大多包含四种主要的元件：

X射线发射管

以高电压加速电子撞击阳极靶材，如铑 (Rh)、银 (Ag)、铬 (Cr)、钼 (Mo)、钨 (W) 等，以产生电子激发，发射出X射线 (X光)。

样品负载装置

手持式的XRF多半采用直接直接检测的方法，顶多在发射源的四周，设计光遮罩防止干扰。而桌上型的设备，使用者在样品采集后，将样品放置在样品载台上，以XRF来分析。

 

X射线侦测器 (Detector)

包括固态式侦测器或气体填充式比例计数侦测器等。固态式侦测器内含碘化汞（HgI2）、矽汞和锂矽Si（Li），碘化汞（HgI2）侦测器可使用低功率热电式冷却装置来控制操作温度，使其低于室温以下，矽汞侦测器也可经由热电式帕尔帖效应来冷却之，而锂矽侦测器则必需被冷却至最少 -90 ℃，其冷却方式可使用液态氮或经由热电式帕尔帖效应来冷却之。

数字处理系统

包括测量脉冲振幅之多频道分析仪（MCA），可将讯号处理成X光能量光谱，然后再计算出样品中元素浓度的分析仪，及分析数字显示和储存系统。